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请问:为什么“国产光刻机水平不宜高估”?
前不久,工业和信息化部发布了《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024 年版)》的公告,其中两款国产光刻机——氟化氪(KrF)与氟化氩(Ar...
2025-07-12 阅读(887) 标签:半导体光刻技术
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