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难怪诺贝尔科学奖开挂日企开发出省电9成的14纳米半导体技术!
发布于 2025-12-12 09:52 阅读()
日本不仅获得31个诺贝尔奖,其76项半导体材料垄断全球市场。大日本印刷突破1.4nm模板技术,支持佳能纳米压印装置,耗电仅EUV光刻机1/10,成本大幅降低,适用于AI、自动驾驶芯片。台积电、三星计划量产,中国半导体落后,可趁禁售窗口合作引入,实现先进制程弯道超车,补齐7nm短板。
在两个月前的2025年度诺贝尔奖自然科学奖项颁布新闻发布会上,日本又增添了两名诺贝尔奖得主:一个是荣获生理学/医学奖的大阪大学教授坂口志文,另一个是荣获化学奖的京都大学教授北川进。
虽然一年获得两个诺贝尔科学奖已经令囊中羞涩的我们羡慕不已,但更令人惊叹的是,截至2025年,日本获得的诺贝尔奖中,2000年后的25年里,日本获得了22个诺贝尔科学奖,成为获得诺奖最多的非欧美国家。
扎实的科学研究实力,不仅让日本获得了31个诺贝尔奖,还使其成为全球最先进的半导体关键材料技术和产品供应国。日本在EUV光刻胶制备技术、300mm大硅片制造技术、半导体涂胶显影设备技术等76项半导体材料和设备领域构筑了全球最严密的技术壁垒,拥有市场份额超过70%的绝对垄断地位。
日本在半导体材料和设备领域的技术积累,推动日企砥砺前行,不断实现突破与超越。最近,日企又在先进半导体核心构件方面取得了重大突破。
12月10日,《日经亚洲》报道称,大日本印刷(DNP)开发出了能以十分之一的耗电量生产先进半导体的技术。将面向佳能生产的新方式制造装置,于2027年量产可支持新一代1.4纳米(1纳米为十亿分之一米)产品的核心构件。该技术的出现,让人工智能(AI)半导体的制造成本有大幅降低的可能性。
目前,要量产最先进的半导体,需要使用全球只有荷兰阿斯麦控股(ASML Holdings)生产的极紫外(EUV)光刻机。在晶圆(基板)上绘制电路的“光刻工序”占半导体总制造成本的3至5成。电路越精细,光刻次数就越多,耗电量也随之增加。一台EUV光刻机的价格为300亿日元左右,给半导体厂商带来沉重的投资负担。
而佳能的“纳米压印(Nanoimprint )”制造装置,采用类似盖印章的方式在晶圆上制作电路。大日本印刷开发出了相当于精细印章的电路原版“模板(template)” ,最高可用于1.4纳米制程。此前该技术无法支持2纳米等先进半导体的制造。
制作模板时,需要使用光刻技术。此次大日本印刷重新筛选了材料并调整设置条件,还采用了可使半导体电路密度翻倍的“双重图形化(Double Patterning)”技术。
从2023年开始,佳能便销售与EUV完全不同的纳米压印装置。与EUV光刻机需要使用强光源来转印电路图案需要消耗更多电能相比,纳米压印装置耗电量更低。预计纳米压印装置单台设备的价格为3-5千万美元,销售价格仅为EUV光刻机的六分之一至四分之一。
不过,由于是直接接触模板来绘制电路,这让佳能的纳米压印装置对环境和工艺的要求更高。因为一旦混入杂质,压印电路就容易出现缺陷,良品率就会降低。该工艺同时还面临需要提高处理速度等课题。因此,习惯于使用EUV的芯片制造企业,目前仅存储器大型制造商铠侠控股等引入这种装置,目前还在用于验证用途,尚未在量产线纳米半导体,将主要用于AI数据中心及自动驾驶领域,发挥智能设备大脑的关键作用。全球最大的芯片制造代工企业台积电(TSMC),计划2028年开始量产1.4纳米半导体,韩国的三星电子则计划2027年开始量产1.4纳米芯片。目前,两家企业都表示对纳米压印装置感兴趣。
不过,因为各企业的现有的半导体工厂,均按照已经使用的EUV光刻机为前提设计,而采用纳米压印装置的门槛较高。因此他们只能在新建半导体制造工厂时才能引进这种装置,并按该装置的要求设计对环境要求更高的厂房。这导致佳能纳米压印装置的推广较为缓慢。
佳能已于2024年向美国得克萨斯州及英特尔等半导体企业参与的官民合作组织“Texas Institute for Electronics(得克萨斯州电子研究所)”首次提供纳米压印装置。能否与EUV光刻机形成共享市场的格局,将成为备受关注的焦点。
如果我们的半导体大厂能够与大日本印刷和佳能合作,利用半导体压印装置还未被美国列入禁售目录的机会窗口引入其1.4纳米的压印装置,可能真的能够帮助我们在半导体制造领域实现弯道超车,补齐我们在先进制程芯片方面的短板。凯发k8天生赢家凯发k8天生赢家
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