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中国半导体巨头的下一站3纳米制程!
发布于 2025-12-24 20:27 阅读()
最近,路透社发表了一篇文章,称中国在ASML退休工程师的帮助下,生产出来一台EUV光刻机样机,并将该项工作成为中国的“曼哈顿计划”。
这个消息一度导致美股半导体板块波动,不过星空君认为,这大概率是一个没有任何确凿信息的猜测。
然而事实上中国的光刻机项目叫“02专项”,要知道,“01专项”又叫“核高基”,这大概是路透社报道里中国的“曼哈顿计划”的由来。
因为众所周知的原因,国产光刻机的进展比较模糊。结合新闻报道,近年来,EUV的各大核心配套系统都有了较大的突破,整合在一起并最终量产只是时间问题。
可以说,半导体产业链是迄今为止人类历史上最为宏大复杂的工业链条,其中光刻机过于耀眼,导致大部分人忽视了链条中其他的核心节点。
12月18日,中微公司发布《关于筹划发行股份购买资产并募集配套资金事项的停牌公告》。
公告显示,中微公司正在筹划通过发行股份的方式购买众硅科技控股权并募集配套资金。
中微公司是中国乃至全球最先进的刻蚀机生产厂商之一,而众硅科技则是高端化学机械抛光设备(CMP)厂商,通过这场并购,中微公司有望成为全球一流半导体设备平台,向客户输出成套的工艺解决方案。
20年前的2004年,曾在英特尔、泛林半导体从事技术研发工作的尹志尧带着团队回到中国成立中微公司,美国对半导体技术严格限制,尹志尧及其团队甚至连一张图纸都没有带回来。然而技术的核心是人才,他们攻关生产出第一台国产刻蚀机。
2015年,美国商务部工业和安全局(BIS)发布了特别公告:由于中国公司已经做出了和美国设备公司有相同质量和数量的等离子体刻蚀机,所以取消对中国的刻蚀机出口管制。
公司2025年前三季度实现营业收入80.63亿元,同比增长46.40%,延续了2024年的高增长态势(2024年全年营收90.65亿元,同比增长44.73%)。
其中第三季度单季度营收31.02亿元,同比增幅达50.62%,环比增长11.29%,显示出强劲的业绩增长势头。
公司的归母净利润为12.11亿元,同比增长32.66%。经过2024年同期的短暂下滑后,2025年强力复苏。2024年净利润的下降主要原因是公司大规模研发投入导致。
其中第三季度单季度净利润5.05亿元,同比增幅27.50%,环比增长28.62%。扣非归母净利润8.87亿元,同比增长9.05%,第三季度扣非净利润3.48亿元,同比增幅5.38%,环比增长44.73%。
2024年的研发高投入并不是昙花一现,2025年前三季度,公司研发支出高达25.23亿元,同比增长约63.44%,研发支出占营业收入比例约为31.29%,远高于科创板平均水平。k8凯发官网入口
公司研发效率显著提升,产品研发周期已缩短至2年内可完成,且新品在客户端验证情况良好,这为公司未来几年加速推出多种新产品奠定了基础。
1、刻蚀设备收入61.01亿元,同比增长约38.26%,占总营收比例约75.6%,仍是公司核心业务。
公司同时开发CCP(电容性等离子体)刻蚀和ICP(电感性等离子体)刻蚀设备,CCP覆盖65nm至5nm的微观器件,ICP用于更先进节点(如3nm以下),形成技术互补。
5nm刻蚀机已通过台积电验证并进入量产,3nm刻蚀设备也已实现技术突破 。2025年第三季度,ICP订单首次超过CCP订单,显示公司在先进制程领域竞争力增强。
客户构成方面,存储客户订单占比67%,逻辑客户占30%,先进制程订单占比超70% 。中微公司刻蚀设备在国内市场占有率约为15%,全球市占率预计在7.5%-10%之间 ,较2024年的5.5%有显著提升。
销售区域来看,产品已进入台积电、英特尔、三星等国际一流客户供应链,海外营收占比目标提升至40%。
2、薄膜设备收入4.03亿元,同比增长约1332.69%,增速迅猛,成为新的增长点。
薄膜设备业务的爆发式增长主要得益于LPCVD(低压化学气相沉积)和ALD(原子层沉积)等新产品在先进逻辑和存储器件制造中的成功应用和市场验证。公司规划了近40种导体薄膜沉积设备的开发,目前已有9种设备完成开发,6款实现量产运转1年,2025年计划完成7种设备开发。
用刻蚀机的,一定会用CMP设备。中微公司如果实现成套成体系的供应,可以实现刻蚀与CMP工艺衔接。
刻蚀工艺后的表面平整化需要CMP设备的配合,两者在先进制程(如5nm以下)中存在工艺衔接需求
中微公司的干法设备(刻蚀、薄膜沉积)技术已达到国际先进水平,而杭州众硅的CMP设备技术也处于国内领先地位,两者结合可形成完整的原子级工艺闭环。公司的研发效率大幅提升。
公司称,(如果此次并购成功)将向平台式集团公司发展,未来五到十年内,与合作伙伴共同覆盖60%的集成电路高端设备市场 ,从单一设备供应商转型为半导体制造综合解决方案提供商。通过投资与并购,完善设备-材料-零部件全产业链布局 。公司已投资30多家产业链上下游企业,其中8家已完成A股挂牌上市。
光刻机是光刻机,刻蚀机是刻蚀机,不能混为一谈,但非常佩服尹志尧这位大科学家,希望他能做出1纳米刻蚀机。
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