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俄罗斯国产EUV光刻设备路线nm以下制程近日，俄罗斯科学院微结构物理研究所公布了一份针对波长11.2纳米的国产极紫外（EUV）光刻设备的长期研发路线纳米制造工艺，并持续至2037年，整体目...
2025-10-03 阅读（727） 标签：纳米制造技术 -
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