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他是光刻机领域的华裔技术专家但是从来不跟中国大陆有任何来往!

发布于 2025-09-08 11:50 阅读(

  

他是光刻机领域的华裔技术专家但是从来不跟中国大陆有任何来往

  都知道荷兰的asml公司出品的光刻机在全球属于抢手货,高精度的EUV光刻机更是直接垄断了高端市场。

  他名叫林本坚,在越南出生的台湾人。从台湾大学电机工程学系毕业之后,去到了美国俄亥俄州立大学电机工程学系进行深造,并且获得了博士学位。

  林本坚早期在IBM任职,2000年回到台湾加入了台积电,直到2015年退休。

  他在加入台积电之后,任台积电资深处长、杰出科技院士和副总经理。林本坚主要的研发方向,就是半导体制造当中的浸润式微影技术,也就是俗称的光刻技术。

  林本坚在光刻技术上面有着很强的技术引领性,他刚入职IBM的时候,只用了5年的时间,他就做出当时光刻领域最短波长的光线,他自己把它命名为深紫外线(DEEP Ultra-Violet,简称DUV)。

  可以这么说,各大厂商的DUV光刻机,都有林本坚的技术在里面。后来开发的EUV光刻机,就是在此基础上进行的技术革新。

  在研发出DUV技术11年之后,林本坚意识到,原来的微影技术已经走到了尽头,很难再发展。当时光刻技术所能触及的最短波长,是157nm。

  随后,林本坚开始通过反向思维进行推算,能不能退回到193nm,然后在镜头和晶圆之间加入其他介质,实现更短的波长?

  然后他将水作为介质,加入了进去。根据林本坚的推算,193nm的波长经过水的折射之后,是可以达到134nm的。

  他将这种技术,称之为浸润式微影技术,也就是现在EUV光刻机所用到的技术。

  台积电的老大张忠谋可是个狠人物,他深知林本坚这个人的实力强,在林本坚加入台积电之后,立马给他加官进爵,让他组建研发团队进行技术研发。

  荷兰的asml也早于佳能和尼康,看出了浸润式微影技术的发展前景,主动要求跟台积电进行合作。

  后来的情况大家应该都知道了,asml抢在所有同行前面生产出来了EUV光刻机,并且凭借着先进的设备在光刻机业务上面成为了老大。

  而台积电,也凭借着林本坚的技术和asml公司的设备,在晶圆代工行业上面独占大量市场份额。

  曾经网易新闻对林本坚发起过一次采访,问到了林本坚对于中国大陆芯片发展的看法。

  我觉得大陆这边是有很多很好的先天条件。第一就是有市场、有机会,只要你做得好,有机会做很多芯片,有量。然后是有人,有很多人才,有好多学校,这些都有了。但是你怎么样让他们觉得半导体很重要,因为现在年轻人都要做很多别的事情,这些都是要去努力的。

  我想,这也是为什么林本坚不选择来到大陆发展的原因。相对于半导体行业来说,美方是最早注重发展这个领域的国家,其次就是我国的台湾,再后来延伸到了我国的大陆。

  从行业的注重性和用人待遇上面来看,台湾要比大陆更有优势,况且台积电的人员有很多都是从德州仪器过来的精英,由这些精英组成的团队,在发展速度与技术底蕴上面,是其他企业团队无法相比的。

  虽然我国很早之前就出台了909项目来扶持半导体行业,但是后来的汉芯、弘芯项目都是打着发展半导体的名头,来骗取国家的扶持资金,赚取不正当的快钱。

  我们大陆的半导体发展问题依然严峻,不只是受到美国的制裁,更多的是留不住人才。

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