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ASML推出首款先进封装光刻机XT:260 生产效率提升3倍!

发布于 2025-10-17 19:35 阅读(

  

ASML推出首款先进封装光刻机XT:260 生产效率提升3倍

  半导体设备巨头ASML宣布出货首款服务于先进封装的光刻机TWINSCAN XT:260。

  XT:260采用i线mJ剂量下每小时可处理270片晶圆,生产效率提升3倍。

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