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只差光刻技术了!日媒:中国将继日荷后第三个造光刻机的国家!

发布于 2025-12-01 18:00 阅读(

  

只差光刻技术了!日媒:中国将继日荷后第三个造光刻机的国家

  日本媒体《日经亚洲》在2025年7月16日的报道中指出,中国已在半导体制造设备的多个领域实现显著自给,仅光刻环节尚存空白。一旦突破这一瓶颈,中国将跻身全球第三个具备独立光刻机制造能力的国家行列。

  该报道基于对行业高管的访谈及中国企业实际布局,揭示了外部压力下本土创新的加速路径。目前,全球高端光刻机市场由荷兰阿斯麦及日本尼康、佳能主导。中国企业正全力追赶,试图打破垄断局面。

  历史k8凯发集团经验表明,凡遭美国严格封锁的领域,中国往往能实现技术突破,这已成为国际共识。日本方面担忧,若中国持续进步,其与盟友在光刻机领域的技术优势可能被削弱。

  中国半导体产业的自主化进程源于国际供应链变动。自2018年美国加强出口管制以来,本土企业加大研发投入。上海微电子装备集团作为主力,已推出支持65纳米制程的深紫外光刻机,并于2025年上半年进入商用阶段。

  该设备采用氟化氩激光源,波长控制在193纳米,可满足中端芯片需求。通过优化镜头系统和振动控制,其曝光均匀性和产量稳定性显著提升,缺陷率降至行业平均水平以下。

  与日本尼康和佳能相比,中国光刻技术虽起步较晚,但后发优势在于供应链整合。尼康专注于中低端市场,设备兼容性强但成本较高;中国企业则依托本土供应商,如华辰装备提供的精密磨床,实现部件国产化率超70%。这一转变减少了对德国蔡司镜片的依赖,转而开发多层反射涂层以提升光传输效率。

  国家集成电路产业投资基金注入超3000亿元资金,支持从实验室验证到产线测试的闭环迭代,推动技术从90纳米向28纳米平稳过渡。

  中国光刻研发早于上世纪70年代启动,初期与日本水平相近,主要依靠科研院所积累经验。80年代通过国际合作缩小差距,90年代西方限制出口后转向自主路径。2000年后,上海微电子成立,推动从100纳米级深紫外设备入手,2007年推出90纳米原型机,验证了多重曝光工艺。

  在极紫外光刻领域,荷兰阿斯麦垄断市场,其设备涉及全球5000多家供应商,复杂度极高。中国探索同步辐射光源方案,与阿斯麦的激光产生等离子体技术形成差异。

  2025年,清华大学研究团队公布极紫外光源生成专利,功率密度接近商用阈值,为后续集成奠定基础。模块化设计便于快速升级,缩短开发周期。

  2018年中美贸易摩擦加剧,中兴和华为被列入实体清单,供应链中断促使中国加速极紫外研发,设定2030年全本土化目标。2024年,国家集成电路产业投资基金第三期启动,注入3440亿元,地方政府向上海微电子提供超10亿元资金,核心本土率目标达50%。

  2024年,工业和信息化部目录列入两款深紫外机型,标志产品成熟。2025年上半年,中国企业大量采购阿斯麦深紫外设备作为过渡库存。荷兰于10月31日提前发布新出口规则,限制7纳米以上设备供应,进一步刺激本土创新。

  上海微电子在2025年9月工博会上展示极紫外参数,光源效率达2.3%,体积缩小30%。其采用激光诱导放电等离子体方案,成本低、耗电减少45%,与阿斯麦技术路径形成差异化。封装技术亦成亮点,3D堆叠工艺成熟应用于本土GPU,体积压缩至小型化水平,性能接近英伟达产品,得益于多重曝光工艺优化。

  日本媒体担忧,一旦中国完成光刻国产化,日本和荷兰企业的市场份额将面临压缩。中国半导体设备需求预计占全球20%,本土替代将推动产业链重构。

  据悉,中国已能独立制造28纳米光刻机,通过多重曝光工艺保证芯片生产不受禁令影响,性能堪比英伟达H20,迫使美国放松技术输出管制。然而,中国仍需保持谨慎,避免技术泄密,并优先在军事领域应用国产设备,以降低国际摩擦风险。

  中国在其他领域的突破佐证其创新能力,如开源语言大模型deepseek挑战美国AI优势,歼10C雷达升级在印巴空战中表现卓越。尽管网络段子夸张,但中国工业基础雄厚,14亿人口市场支撑持续试错,取代阿斯麦和日本企业或成必然。

  全球格局下,中国光刻技术体现自力更生精神。面对出口限制,本土企业创新替代路径,如在极紫外原型中简化镜片结构,从百层减至数十层,降低制造难度。数字化模拟预测故障,延长设备寿k8凯发集团命20%。集成人工智能算法优化曝光路径,提升效率。这不仅增强芯片含金量,还强化经济韧性。

  日媒观点强调中国后劲十足。上海微电子的28纳米浸没式光刻机虽开发延期,但初步测试反馈良好,2025年下半年有望进入批量验证。新机型支持更高分辨率,适用于人工智能芯片生产。国际对比显示,日本企业依赖专利维持地位,而中国利用开源合作加速知识扩散。国家政策引导下游企业如中芯国际优先测试国产设备,自给率从2024年20%升至2025年近45%。

  光刻突破将辐射整个产业。中国一旦掌握核心能力,芯片产量可翻倍,支持本土5G和新能源汽车需求。报道称,中国半导体制造设备国产化率在多个环节超80%,仅光刻为空白。本土团队专注攻关,预计2027年实现7纳米量产。相比荷兰阿斯麦的商业化路径,中国强调渐进进步,从深紫外向极紫外过渡,避免资源浪费。

  日媒报道预示中国将成为继日荷后的光刻强国。实际进展包括开源人工智能模型在模拟曝光过程中的应用,加速迭代。中国已有能力生产高性能芯片,迫使国际管制调整。光刻技术的全面掌握将重塑全球供应链格局。

  当前,中国光刻国产率达45%,上海微电子持续迭代设备,极紫外原型进入试验阶段。累计投入超4000亿元,市场份额扩张,产业自主性增强。这一进展源于持久投入,彰显中国在科技领域的战略定力。全球光刻机垄断格局或将从三家增至四家,中国凭借后发能力与市场规模,逐步实现技术自主。