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深圳技术大学:半导体微纳加工中心落成打造MEMS传感器与光电芯片制造平台!

发布于 2026-01-02 07:22 阅读(

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深圳技术大学:半导体微纳加工中心落成打造MEMS传感器与光电芯片制造平台

  2025年12月25日,深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台正式落成。作为深圳市首个聚焦化合物半导体光电子领域的公共服务平台,该平台的投用填补了深圳市在半导体芯片领域的空白,将为粤港澳大湾区半导体产业高质量发展提供关键支撑,筑牢深技大应用研究型人才培养根基。

  深圳市科技创新局党组书记、局长张林,深圳市委教育工委副书记王汝津,深圳市工业和信息化局副局长平原,坪山区委书记赵嘉、区长张茜等;中国工程院外籍院士、美国工程院院士、博升光电科技有限公司董事长常瑞华教授,清华大学深圳国际研究生院副院长刘碧录,以及深圳市重大产业投资集团有限公司、比亚迪汽车工程研究院等企业代表和业界嘉宾受邀出席。深圳技术大学党委书记陈秋明,校领导梁永生、邓元龙,集成电路与光电芯片学院院长宁存政等出席活动。

  深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台是国内高校系统中独立建成的规模最大、工艺最完整、运营职业化的化合物半导体光电芯片公共服务平台之一。中心建筑面积2600平方米,其中千级、百级及万级洁净区面积达2100平方米。作为深圳市首个同时支撑MEMS传感芯片与化合物光电芯片上游制造的公共服务平台,配置120余台套先进教学与研发工艺设备,构建起覆盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、切磨抛及测试表征等关键环节的全流程工艺体系,可提供“设计-加工-封装-测试”一站式技术解决方案。

  人才培养方面,半导体微纳加工中心以“科研牵引、产业协同、人才培养”为使命,精准对接深技大应用研究型人才培养需求,致力于打造国际先进、国内领先的产学研协同创新高地。依托深技大集成电路与光电芯片学院,组建了由50多名高层次科研人员构成的核心团队,已构建起从基础研究到工艺实现、从中试到产业化的完整创新链条。作为学院本硕博学生的核心实践载体,将深度融合科研与教学,助力构建实践型人才培养体系,为产业输送高素质专业人才,实现教学、科研、产业三大目标的精准对接。

  深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台的落成不仅为深技大半导体与集成电路、半导体光电子等优势学科提供关键硬件支撑,强化学校科研实力与人才培养优势,更将通过公共服务平台定位,推动“智能传感”、“光载信息”、“集成电路”等重大产业集群的技术创新与成果转化。中心负责人、集成电路与光电芯片学院院长宁存政表示,当前,深圳市在光载信息产业和智能传感器系列产业领域缺乏上游工艺芯片制造公共服务平台,深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台的落成弥补了这一空白,其产业服务线”产业集群中的光载信息产业和智能传感器系列产业,能满足粤港澳大湾区在该领域的相关需求。返回搜狐,查看更多