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　　在芯片制造的核心设备领域，荷兰 ASML 长期占据着绝对主导地位。全球 80% 以上的光刻机市场被其收入囊中，尤其是生产 7nm 以下先进制程芯片必需的 EUV 光刻机，更是 ASML 的 独门绝技，全球仅此一家能够制造。这种垄断地位让 ASML 牢牢卡住了全球先进芯片制造的脖子，台积电、三星等巨头都不得不依赖其设备。

　　为了打破这种局面，全球企业一直在寻找绕过 EUV 的技术路径。此前有日本佳能的纳米压印技术（NIL）、美国的电子束光刻技术（EBL）等方案，但大多停留在传闻或实验室阶段。直到最近，英国南安普敦大学宣布建成欧洲首个分辨率达 5 纳米以下的电子束光刻中心，让替代技术从理论走向了现实。

　　电子束光刻技术的原理是通过高能电子束直接在硅片上绘制电路图案，无需依赖 EUV 的极紫外光源和复杂光学系统。这带来了明显优势：一方面，电子束的波长更短，理论上能实现更高分辨率，轻松达到 5nm 以下；另一方面，设备结构相对简单，无需制作复杂的掩膜版，灵活性和成本控制上更有潜力。

　　不过目前这项技术还存在短板。英国团队的设备现阶段只能处理 200mm（8 英寸）晶圆，而主流芯片厂早已使用 300mm（12 英寸）晶圆，产能上存在差距。同时，电子束光刻的速度较慢，每小时处理晶圆数量远不及 EUV 光刻机，短期内还难以满足大规模生产需求。但不可否认，一旦解决了产能和效率问题，它将成为打破 ASML 垄断的重要力量。

　　除了英国的电子束技术，日本佳能的 NIL 纳米压印技术进展也较为突出，据称已投入实际生产，能用于制造 5nm 芯片，且成本比 EUV 低不少。而美国的 DSA 自生长技术、俄罗斯的 X 射线方案等仍处于早期阶段，实际应用进度有限。可以看出，电子束和纳米压印是目前最有希望挑战 EUV 的两大技术方向，但都需要时间完善。

　　面对这些挑战，ASML 也没有坐以待毙。其正在研发的高数值孔径 EUV 光刻机，预计 2025 年推出，分辨率可提升至 2nm，进一步巩固先进制程优势。同时，ASML 不断扩大产能，仅 2024 年第四季度，新增订单就超过 70 亿欧元，K8凯发官方网站其中 EUV 占比近半，显示出市场对其技术的依然依赖。

　　对于中国来说，这些新技术的出现看似提供了更多选择，但实际意义有限。因为这些技术掌握在欧美日企业手中，在当前的国际环境下，很难保证会对华出口。比如 ASML 早已停止向中国出口 EUV 光刻机，未来其他新技术也可能面临类似的封锁。

　　打铁还需自身硬，中国必须走自主创新之路。目前，清华大学的 SSMB-EUV 光源技术已取得突破，为国产 EUV 光刻机研发奠定了基础。同时，国内企业如北方华创在电子束设备、上海微电子在光刻机领域也在持续投入。尽管与国际先进水平存在差距，但只有坚持自主研发，才能真正掌握核心技术，避免被 卡脖子。

　　英国电子束光刻中心的落地，标志着替代 EUV 的技术不再停留在纸面，而是开始具备实际应用价值。虽然短期内 ASML 的垄断地位难以动摇，但其面临的竞争压力正在显著增加。未来的芯片制造设备领域，可能会形成多种技术路线并存的格局 ——EUV 在大规模先进制程中保持优势，电子束、纳米压印等技术在特定领域实现突破。

　　这场技术变革提醒我们，半导体行业的竞争本质是核心技术的比拼。无论是 ASML 的持续创新，还是各国对替代技术的探索，都印证了掌握关键技术的重要性。对于中国而言，唯有集中力量攻克核心技术，构建自主可控的产业链，才能在全球半导体格局中占据稳固地位，不再受制于人。

　　监制：马烨总台央视记者：吴慧彤 陈刚记者：程嘉豪 扈秀帅 宋浩 张彬 李灿彬 高欣召 占涵洋 戴鑫 编辑：刘竞阳责任编辑：刘姝杉

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