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突破!首台国产商业电子束光刻机诞生06nm精度比肩国际主流!

发布于 2025-08-18 12:38 阅读(

  K8凯发传统芯片产业的聚光灯一直以来是打在ASML的极紫外光刻机上的,但中国科学家在另一个关键赛道继续实现突破。

  就在8月15日,杭州市科技局发布,首台国产商业化电子束光刻机在杭州正式亮相了!

  作为一直盼着咱们国家在芯片设备领域突破的人,我看到这消息的时候,一如既往地为国产技术突破而激动。

  这台叫 “羲之” 的设备,是浙江大学余杭量子研究院自己研发的,已经完成研发进入应用测试阶段。

  据悉,该设备是新一代100kV电子束光刻机,专门攻克量子芯片、新型半导体研发的核心环节。

  相当于把一根头发丝纵向劈成十万份的细致程度。感觉这水平已经能和国际主流设备比肩了。

  更牛的是,它不用掩模版,还能多次修改设计,就像在硅基上 “手写” 电路一样灵活。

  说起来,传统光刻机虽然也重要,但在芯片研发初期,电子束光刻机的优势就太明显了。

  芯片研发的时候,得设计好多版型、图案,经常要一条线一条线地改。以前用传统设备,改起来又麻烦又费时,“羲之” 就不一样了,精度高还 “书写” 便捷,能大大提升反复调试的效率。

  这就好比咱们写文章,以前改个字不能涂涂抹抹得重新抄一遍,现在电脑一个删除就搞定,效率是完全不一样的。

  最让我提气的是,以前这种先进的电子束光刻机设备,国外对咱们搞出口管制,国内顶尖的科研机构和企业想买都买不到,处处受牵制。

  芯片产业有多重要不用我说,设备被禁运,研发就很难往前推进。现在 “羲之” 落地,为我国产业突破添砖加瓦。

  更重要的是,这种“从研发端反向渗透制造端”的路径,或许能走出一条不同于摩尔定律的芯片创新之路。

  总体来说,有了这个开端就是继续前进的底气。而且既能帮国内的科研机构和企业降低研发成本、加快研发进度,还能带动整个产业链的发展,培养更多相关的技术人才。

  相信未来会有更多像 “羲之” 这样的国产高端设备出现,让咱们在科技领域真正挺直腰杆,不再受制于人。