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光刻机正宗的8家企业!
发布于 2026-01-25 12:08 阅读()
光刻机是芯片制造的“皇冠明珠”,更是决定半导体制程精度的核心设备,被誉为“人类工业技术的巅峰之作”。从芯片设计到成品出厂,光刻机通过光刻工艺将电路图精准“雕刻”在晶圆上,其技术水平直接决定了芯片的性能与功耗,是全球半导体产业竞争的核心赛道。今天来了解8家正宗的光刻机关联企业。
正宗逻辑:国内少数能够为ASML、东京电子等国际巨头提供精密零部件的企业,产品直接应用于EUV光刻机的核心模块,是大陆唯一进入ASML供应链的精密结构件厂商。
具备从设计、加工到表面处理的全流程能力,在超大型、超高精度零部件制造上技术领先。
深度绑定中芯国际、北方华创等国内头部客户,在国产替代浪潮中订单量持续爆发。
正宗逻辑:国内唯一掌握纳米压印光刻技术并实现产业化的企业,其自主研发的光刻机核心光学元件已应用于国产光刻机设备,是国内少数具备光刻机整机集成能力的厂商。
在微纳光学制造领域拥有全球领先的技术积累,产品可覆盖从28nm到5nm的先进制程需求。
与中科院等科研机构深度合作,技术迭代速度快,在国产光刻机核心部件突破上扮演关键角色。
正宗逻辑:国内唯一具备EUV光刻机光源核心器件研发能力的企业,其高功率激光器产品是国产光刻机突破“卡脖子”技术的关键环节。
在半导体激光、固体激光等领域拥有多项核心专利,技术水平对标国际龙头Coherent。
已为国内多家光刻机整机厂商提供光源解决方案,随着国产光刻机量产进程加速,业绩弹性巨大。
正宗逻辑:全球少数能够生产14nm及以下制程用超高纯溅射靶材的企业,产品直接供应给ASML用于光刻机镀膜环节,同时也是中芯国际、台积电的核心供应商。
在靶材纯度、均匀性等关键指标上达到国际顶尖水平,打破了国外企业的长期垄断。
客户覆盖全球前十大半导体厂商,在国产替代和全球供应链重构中占据双重优势。
正宗逻辑:国内领先的半导体光学检测设备厂商,其产品可用于光刻机的光学系统精度检测与校准,是国产光刻机实现量产的重要支撑环节。
在高速高精度光学成像、图像处理算法等领域拥有深厚技术积累,检测精度达到纳米级。
正宗逻辑:国内少数能够生产光刻机用高端光学镜头的企业,产品覆盖从DUV到EUV的全系列光刻机需求,已通过ASML的供应商认证。
在非球面光学元件、高精度镜头模组等领域技术领先,可满足光刻机对光学系统的严苛要求。
客户包括国内头部光刻机厂商和科研院所,在国产替代进程中订单增长确定性强。
正宗逻辑:通过旗下张江浩成投资了国内光刻机龙头企业上海微电子,是唯一直接绑定国产光刻机整机厂商的上市公司。
作为上海集成电路产业的核心承载区,汇聚了光刻机产业链上下游企业,形成了独特的产业集群优势。
正宗逻辑:国内领先的空气净化设备厂商,其超洁净环境系统是光刻机正常运行的必备条件,已进入ASML和国内头部光刻机厂商的供应链。
在半导体洁净室领域拥有完整的技术体系,可提供从设计、制造到运维的全流程服务。
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