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荷兰半导体专家:ASML花费40年钻研光刻机中国企业竟比ASML还狠!
发布于 2026-03-01 03:23 阅读()
上世纪六十年代,美国半导体产业刚起步,那时候芯片还挺简单,晶体管数量不多,对光刻机的要求也没那么高。GCA和珀金埃尔默这些公司,靠着光学和精密制造的积累,先站出来搞设备。
GCA1957年就推出第一台光刻机,能刻1微米线宽,军方需要大批芯片搞装备,就成了他们的主要客户。市场份额大,GCA管理层有点飘,客户反馈问题,他们不太上心,导致后来丢了不少订单。
珀金埃尔默1973年出Micralign投影扫描仪,也分了一杯羹。美国是光刻技术的发明地,早早靠军工把芯片商业化了。
七十年代末,日本开始发力。通产省推超大规模集成电路计划,拉着尼康和佳能这些光学老玩家,加上东芝这样的存储器厂家,一起上阵。
尼康1977年买了GCA的机器,仔细研究后,1980年推出NSR-1010G。佳能1970年就搞出PPC-1,日本第一台。东芝团队帮忙测试芯片,反馈数据优化设备。日本企业注重服务,卖机器还上门帮忙调试,客户用着舒心。
渐渐地,美国客户转投日本那边,GCA市场份额下滑,日本占了七成。尼康和佳能成了第二代霸主,出口全球,供应链拉得稳稳的。
荷兰那边,飞利浦实验室1970年代就试着搞SIRE原型,但进展慢。1984年4月1日,飞利浦和ASM合资成立ASML,只有31人起步。早期设备性能一般,卖不动,只能自家用。
1980年代末,PAS系列推出,对准技术开始显优势。随着芯片设计复杂,这项技术帮了大忙。
ASML订单增多,1995年出PAS 5500/400步扫机,1999年Twinscan双台系统。2000年后,EUV研发启动,2011年收购Cymer,供应链扩展到全球上千家。ASML慢慢爬到顶,市场份额超八成。
ASML从1984年起步,到现在2026年,花了40多年才站稳脚跟。早期就是飞利浦的一个小部门,赔钱多年,独立出来后靠政府和伙伴撑着。
研发步步推进,1990年代专注步扫技术,2000年后转战EUV。EUV这东西复杂,集成了激光、真空系统、镜片等,供应商包括德国Zeiss、日本公司。
ASML不是全自己造,而是整合全球资源。2020年代,高NA EUV推出,一台成本2.5亿刀,能帮台积电、三星生产更先进芯片。海金克在书里写,这公司像长跑选手,积累经验,数据海量,合作紧密。
马克·海金克作为荷兰科技记者,跟踪ASML多年,访谈过300多高管。他的书《芯片制造:光刻巨头ASML传奇之路》2023年出,2025年中文版上市。
海金克说,ASML成功靠创新和合作,早期差点倒闭,但抓住浸润式技术机会,甩开尼康和佳能。
台积电帮了大忙,提供浸润方案,把波长从193nm缩到132nm。ASML市场份额从1990年代的低位,涨到现在的83%。EUV垄断,因为研发周期长,投入大,其他公司跟不上。
现在ASML全球员工4万多,在16国设点,包括中国。2025年营收282亿欧元,中国占销售额33%,最大市场。但美国限制下,2026年预计降到20%。
海金克访谈中提到,阿斯麦对中国市场担忧不止出口管制,更是本土竞争加剧。中国企业从2018年起,就在攻克浸润式DUV,上海微电子等公司进度快。ASML知道,这场赛跑不光技术,还看执行。
海金克直言,中国企业劲头比ASML大。ASML是慢慢熬,中国直接全产业链上马。华为这种通信起家的,也扎进设备研发,史上头一回。2019年美禁运后,华为建厂招人,逆向研究ASML机器。
中国拉产业链顶尖企业,核心公司带头。华为垂直整合,通信、设计、终端齐备。SMIC SN1和SN2厂月产能各3.5万片,2024年用囤的ASML DUV扩线nm。虽有差距,但砸钱追赶。
比起ASML单干40年,中国资源倾斜猛,执行力强。海金克说,中国独特在门外汉也深研。企业像东芝模式融合,全链条推进。SMIC 2026年5nm量产,AI GPU Ascend 910B性能比Nvidia老款。
华为麒麟9030出,靠DUV极限推。囤800多台ASML机,当缓冲,自研EUV原型2025年出,破解瓶颈。虽成本高缺陷多,但步步突破。专家估计,2028-2030年出芯片,比预想早。
全球光刻整机制造,就剩荷兰、日本、中国三家。ASML领跑,2025年高NA EUV给TSMC 2nm用。尼康佳能市场10%,中国SMEE 28nm出。海金克觉得,赛跑看供应链投入。中国自力,差距缩。SMIC扩70k片月产能,华为AI GPU追。格局变,ASML禁运,中国升。
海金克书里强调,限制出口反推中国自主。阿斯麦知道,本土化加速,竞争多。荷兰政府2024年扩管制,先进DUV禁售中国。但中国DUV国产生效,14nm和7nm设备测试。
Wccftech报道,中国韧性强,制裁成催化剂。企业放下竞争,集中资源。海金克2018年访ASML领导,就注意到上海微电子攻浸润式。从研发到产线需时,但压力大,进度快。
中国成ASML最大客户,2024年占41%,2025年33%。但本土设备崛起,保障供应链。南华早报说,中国致力于DUV和EUV自研,突破限制。
全球链紧,中国份额升。海金克访谈,白宫门易开,想传观点。但阿斯麦担忧本土竞争。书里写,ASML冒险之旅,从小公司到关键玩家,靠全球合作。中国创新,与ASML芯片连。
这赛跑不止技术,还看决心。中国企业狠劲,缩短差距。全球半导体平衡在变,中国自主路走稳。
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